Applicazioni specifiche di i pulitori di plasma

E macchine di pulizia / incisione di plasma generanu plasma mettendu dui elettrodi in un cuntainer sigillatu per creà un campu elettricu. Una pompa di vacuum hè aduprata per mantene un certu livellu di vacuum. Quandu u gasu diventa sempre più rarefiatu, a distanza trà e molécule è u muvimentu liberu di molécule o ioni aumenta ancu. Sutta l'influenza di u campu elettricu, sti ioni collide è formanu plasma. Questi ioni sò assai reattivi, cù abbastanza energia per rompe quasi tutti i ligami chimichi, inducendu reazzione chimica in ogni superficia esposta. Diversi plasmas di gas anu diverse proprietà chimichi. Per esempiu, u plasma di l'ossigenu hè assai ossidante, capaci di ossidà u photoresist per pruduce gasu, ottenendu cusì un effettu di pulizia. U plasma di gas corrosive hà una anisotropia eccellente, chì risponde à i requisiti di l'incisione. U trattamentu di plasma produce un brillo, da quì u nome di scaricamentu di lumi.
U mekanismu di purificazione di plasma si basa principarmenti nantu à l'"attivazione" di particeddi attivi in ​​u plasma per sguassà e macchie di a superficia. In quantu à u mecanismu di reazzione, a purificazione di plasma in generale implica u prucessu seguente: i gasi inorganici sò eccitati in un statu di plasma; i sustanzi gasosi sò adsorbiti nantu à a superficia solida; i gruppi adsorbiti reagiscenu cù molécule nantu à a superficia solida per furmà molécule di produttu; e molécule di u produttu si decomponenu in a fase di gas; è i residui di reazzione sò eliminati da a superficia.

A funzione più significativa di a tecnulugia di purificazione di plasma hè chì pò trattà qualsiasi tipu di sustrato, cumpresi metalli, semiconduttori, ossidi, è a maiò parte di i materiali polimerici cum'è polipropilene, poliester, poliimide, cloruro di polivinile, epossidichi, è ancu politetrafluoroetilene. Pò pulizziari sia tutta a superficia è spazii specifichi, è ancu strutture cumplessi.